作者：深圳市jnh官网电气有限公司
时间：2022-12-07
偏压电源（Bias power supply ）是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在真空离子镀膜中，偏压电源的好坏对于成膜质量起着非常关键的作用。
偏压（Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压。偏压电源的正极接到真空室上，同时真空室接地，偏压的负极接到工件上。由于大地的电压一般认为是零电位，所以工件上的电压习惯说负偏压。
负偏压的作用
1.提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力
2.通过偏压轰击，在膜层与基体之间生成一层与二者均相容的过渡金属层，以便于膜层与基体结合。
3.靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色与性能。
4.通过带电离子的轰击，对基片产生加热效应。
5.清除基片上吸附的气体和油污等，有利于提高膜层结合强度。
6.活化基体表面。
7.对电弧离子镀（Arc Ion Plating)中的大颗粒有净化作用。
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