作者：深圳市jnh官网电气有限公司
时间：2022-08-24
真空镀膜中的电源有脉冲偏压电源、中频磁控溅射电源等，真空镀膜中气体有单离子气体和双原子气体，比如氧气和氮气就是由两个氧原子和两个氮原子组成的氧气和氮气。氩气和氦气只有一个原子组成气体，这个图是原子内部结构示意图，原子的中心由原子核，周围有电子，在各个不同能级的轨道上围绕原子核运动，现在看氩原子的原子结构，中心的是原子核，周围是围绕原子核运动的电子，他们都处于不同的能级，围绕这原子核运动，氩原子带18个正电荷，周围围绕着运动是18个电子，当外界由于高能的电子和它产生的碰撞的时候，就有可能把以原子核结合最弱的电子打出去，使得原子少了一个电子，多了一个正电荷就成为了氩离子，通俗来说电子与气体碰撞使在外层电子脱离原子核的约束，就是气体被电离。（氩气原子）AR+e=（氩离子）AR++e+e（电子）,电子可以使气体产生电离，但不是所有的电子都可以使气体电离，电子必须具有一个最低的能量才能使气体分子电离，因为电子的能量是从电场加速得到，所以使气体电离要有一个最低的加速电压，也叫加速电位，Ui就是使气体电离的电离电位，H的电离电位Ui=13.595v，Ar的电离电位Ui=15.755v,Ti的电离电位Ui=6.83V,Cr的电离电位Ui=6.746V从这个数据也可以看到气体被电离所需要的能量比金属所需要的能量要高，也就是说金属更容易被电离。气体被电离以后，气体离子缺失了电子，多了正电荷，处于不稳定状态，在空间得到一个电子的时候，这个电子就填补了缺位的电子，所以电子和离子复合，复合成为稳定的原子，这个时候要放出能量，放出原子变成离子所吸收的能量，这个能量的放出以光量子的形态放出，所以说当正离子和电子复合的时候放出原来电离时所吸收的能量，这个能量是以光量子的形态放出，所以复合的时候要发光，不同气体被电离的时候吸收的能量不同，所以复合的时候放出的能量也不同，因此发光频率也就不同，不同气体产生光的颜色不同。
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有提高工作效率和改善色差的中频磁控溅射电源；
有专门针对打火问题严重能明显得到改善的脉冲偏压电源；
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