作者：深圳市jnh官网电气有限公司
时间：2023-12-04
中频磁控溅射电源是真空镀膜电源中的一种，应用于真空镀膜设备上，属于真空镀膜设备的核心配件，真空镀膜工艺技术也被称为真空涂层技术，其应用领域包括装饰镀膜、工模具镀、功能镀等。是现代工业生产中非常重要的表面处理技术，作为真空镀膜电源的成员之一，中频磁控溅射电源已成为新的磁控溅射设备的首选电源，电源采用高频逆变开关电源技术制造，可以更精准地控制膜层厚度，镀膜过程中工作更加稳定，并具有较好的恒定特性。
目前，中频磁控溅射电源主要采用恒流、恒压和恒功率的工作模式，另外，中频磁控溅射电源必须严格控制磁控溅射过程中靶表面的打火次数和每次打火的能量，以确保产品膜层致密、光洁度好。要特别注意的是，尽量减少打火瞬间造成的宏观靶材粒子数量，它们会降低膜层的致密性和光洁度。
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