作者：深圳市jnh官网电气有限公司
时间：2022-03-10
TCO玻璃的特性首先由其使用的TCO 靶材决定，常见的 ITO 镀膜玻璃、FTO 镀膜玻璃和 AZO 镀膜玻璃分别使用锡掺杂氧化铟(In2 O3 )、氟掺杂氧化锡(SnO2 )和铝掺杂氧化锌(ZnO) 作为TCO 靶材。ITO 玻璃的主流生产工艺是磁控溅射，属于 PVD 中的一种，由于其具有 良好的导电性能，可作为玻璃电极产品被广泛应用于平板显示器行业。ITO 玻璃初期也曾应 用于薄膜光伏电池的前电极，但随着对光吸收性能要求的提高，TCO 玻璃还必须具备提高 光散射的能力，而ITO 镀膜很难做到这一点且其应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳 定，因此在薄膜光伏电池上逐渐被 FTO 玻璃替代。
FTO 玻璃主要采用 CVD 工艺镀膜，其导电性略差于 ITO 玻璃，起初可作为 Low-E 玻璃应 用于建筑上。通过对原有生产配方和工艺进行改进后，目前已可制造出导电性较好、具有 较高的光透过率和雾度 (可对光进行散射)的 FTO 玻璃，成为薄膜光伏电池的主流选择。
AZO 玻璃既可使用 CVD 工艺也可使用 PVD 工艺进行镀膜，由于其易于实现掺杂，可在掺 杂后大幅提高导电性能。AZO 玻璃具有与 ITO 玻璃接近的光电性能，且原材料易得，生产 成本较低，且在等离子体中性能更为稳定；而与 FTO 玻璃相比，AZO 玻璃则拥有更强的导 电性能和光透过率。因此，AZO 玻璃可以在不同领域对前两者形成替代，具有较大发展潜 力。但从目前来看，AZO 无法进行在线镀膜，其膜层偏软且刻蚀后存放时间偏短(化学稳 定性较差)，因此暂时不是薄膜太阳能电池的最佳选择(薄膜太阳能电池的生命周期通常为 20 年以上)
针对PVD溅射电源常用的电源有直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、双极脉冲磁控溅射电源、高压脉冲电源、离子源、弧电源。欢迎您的了解和咨询。
