1、采用高频逆变方式，大大降低了电源的体积，提高了电源的功率密度，更适合小功率电源。

2、采用高频逆变方式，避免了开关变压器等损耗，使电源效率更高。

3、高频逆变方式，由于采用 PWM方式控制，使整个电源具有很高的可靠性。

4、采用高频逆变方式，可获得很高的频率和幅度。在频率为500 kHz~100 kHz时，可以获得高于3W/cm2的功率密度。

5、高频逆变方式还可获得较小的开关损耗和较大的电压输出范围。

6、采用高频逆变方式，由于改变了开关变压器的工作点，从而减少了磁芯损耗、变压器损耗及整流二极管损耗等。

7、采用高频逆变方式，还可有效地解决在大功率应用场合下由于电网波动而造成的电压和电流波形的畸变问题。

8、由于采用高频逆变方式，使电源的稳定性有了很大的提高，极大地改善了电源工作状态下产生的噪声问题。

9、采用高频逆变方式，还可避免输出电压纹波对负载造成影响。

11、采用高频逆变方式，可进一步改善电源功率密度及降低变压器等损耗，从而进一步提高电源效率。

12、采用高频逆变方式，可提高电源的整机效率及减少整流二极管等器件的损耗。

一、溅射电源的性能指标

溅射电源的性能指标包括：电压范围（最大额定电压），输出功率（最大功率），频率（最高频率），输出波形（正弦波、尖峰电压波形等），输出电压纹波系数，输出电流纹波系数，频率稳定度，工作频率范围、噪声、失真等。

溅射电源的主要技术参数包括：功率范围、输出功率、频率、波形等。

二、溅射电源工作原理

直流溅射电源工作原理：将电源的高压直流电通过整流器整流滤波，再将直流电转换成频率为500 kHz~100 kHz的高频交流电，输出为高频脉冲信号，驱动真空管的阳极，使真空管的阳极与溅射靶形成高频、大电流的离子轰击靶，从而将靶材原子溅射出来。

溅射电源由升压变压器、整流电路、直流滤波器、全桥逆变电路、高频逆变电路、冷却电路和控制系统等组成。变压器输出端通过全桥逆变电路逆变成50 Hz的电压和频率可调的交流电；全桥逆变电路由两个功率管组成，一个管全桥整流输出直流电，另一个管全桥逆变输出交流电；直流滤波器主要由两个三极管组成。

三、主要部件介绍

1、主功率电源模块：采用多个 IGBT功率模块并联的方式，其优点是功率因数高，能够提高电源的输出功率。

2、控制电路：采用高频逆变控制方式，实现对主电路的控制。

3、电源保护装置：在主功率电源模块出现异常时，会自动切断主电路电源，从而保护了整个电源系统的安全。

4、采样电阻：将电压和电流转换成数字信号，用于数据存储和显示。

5、绝缘栅双极晶体管（IGBT）：实现开关管的通断，并可以实现可控硅的工作状态。

四、安装与调试

1.安装时，应在电源输入端并联一个串联电阻，其阻值大小应使其电压与电源电压保持一致，以防止电源输入端的电压波动影响到被溅射材料的质量。

2.安装时，应根据被溅射材料的特性、溅射气氛的特性及溅射方式等因素，选用合适的安装方法，并加以合理调整。

3.安装完成后应进行必要的调试，确保溅射效果。

五、溅射电源参数表

1、电源的输出功率为45W~150W；

2、工作频率：50 HZ~80 KHZ；

3、电压范围：0~100V；

4、输出电流：0~10A；

5、输入阻抗：50Ω；

6、输出电容：20μF；

7、输出电压波形：方波（正弦波），具有良好的稳定性，适合于溅射设备的电源控制。

8、控制方式：全数字 PID控制，精度高，稳定性好，响应速度快；

9、操作方式：手动/自动切换。

10、电源保护方式：过流保护，过压保护，缺相保护。

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