作者：深圳市jnh官网电气有限公司
时间：2023-10-20
对于做真空镀膜加工的客户来说，“靶中毒”这个词一定不陌生，要解决靶中毒问题，自然少不了中频磁控溅射电源。先来说说引起靶材中毒的原因，主要是氧化反应气体通入太多，造成导体靶材丧失导电能力，只有提高击穿电压，靶材才能起辉，但是电压过高容易发生弧光放电现象，所以溅射靶材一直处于低电压运行状态，并伴有弧光放电，使靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。中频磁控溅射电源的出现，就是为了解决靶中毒现象，用中频磁控溅射电源来代替直流电源，减少反应气体的通入量、提高溅射速率，可以抑制靶表面弧光放电，有效防止靶中毒现象。
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